Изложены основные особенности количественного рентгеноспектрального микроанализа слоистых материалов. Показано влияние гетерограницы на результаты локального анализа, способы измерений и обработки информации для получения правильных результатов и возможности автоматизации и компьютеризации измерений. Приведены конкретные примеры микрозондового контроля полупроводниковых гетероструктур и интегральных схем, поверхностных слоев металлов и защитных покрытий на металлах, ионнолегированных материалов и других слоистых композитов.
Книга предназначена для инженерно-технических работников и специалистов, занимающихся металлургией, металловедением, микроэлектроникой, аналитической химией, и работников различных областей новой техники, связанных с получением, применением или контролем современных материалов. Ил. 66. Табл. 12. Библиого. список: 109 назв.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие
Глава I. Специфика рентгеноспектрального микроанализа слоистых материалов
1.Рентгеноспектральный микроанализ гомогенных материалов
2.Метрологические характеристики метода
3.Гетерогенный фон и фазовая интенсивность
Глава II. Дальнодействующие эффекты гетерогенного фона
1.Расчет флуоресценции вблизи гетерограницы
2.Влияние геометрии гетерограницы
3.Номографическая оценка флуоресценции
4.Расфокусировка первичного пучка
5.Многократное отражение электронов
Главa III . Анализ тонких слоев на массивных подложках
1.Влияние подложки
2.Способы коррекции и экстраполяции
3.Оценка пределов обнаружения элементов в тонких слоях
4.Разрушающие способы контроля распределения элементов в тонких слоях
5.Способ вариации энергии первичных электронов
6.Способ вариации угла отбора рентгеновского излучения
Глава IV. Рентгеноспектральный микроанализ слоистых композитов
1.Многослойные металлические композиты
2.Защитные покрытия на металлах
3.Контактные и ионнолегированные слои на полупроводниках
4.Эпитаксиаль ные полупроводниковые гетероструктуры
5.Структуры с оксидными слоями
Глава V. Слоистая неоднородность в некомпозиционных материалах
1.Слоистая объемная неоднородность
2.Коррозионны е слои и обработка поверхности
3.Рентгеноспектр альный фазовый анализ поверхностных слоев
4.Анализ микровключений
5.Анализ микрообъектов со сложной геометрией
6.Оптимизация метрологических характеристик
Библиографическ ий список
Дополнительно: При заказе от 1500 р. отправка Почтой России бесплатно.
При заказе от 5000 р. разовая скидка 15% и отправка Почтой России бесплатно.
За пределы РФ книги не высылаю
Встречи по договоренности исключаются.
)
хорошее;
В продаже с 05.12.2023
