Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Данилин, Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем
	Издательство: М.: Энергия
	Переплет: твердый; 256 страниц; 1972 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 25.10.2007

Аннотация

В книге рассмотрены области применения тонких пленок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с пленками в процессе их формирования, аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, типы и конструкции установок для осаждения тонких пленок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать